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四川石墨磨具
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    四川石墨磨具


  •   1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

      2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

      3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

      4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚四川石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

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    发布时间:2022/11/3 17:24:34
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