四川石墨电极

　　四川石墨电极是电冶炼工业中重要的导电材料，具有良好的导电、导热性，机械强度高等特点，广泛的应用于电弧炼钢炉，矿热电炉、电阻炉，已经成为当代原材料工业的重要组成部分。

　　石墨电极煅烧的过程：碳质原料在高温下进行热处理，排出所含的水分和挥发分，并相应提高原料理化性能的生产工序成为煅烧，一般碳质原料采用燃气及自身挥发份作为热源进行煅烧，较高温度为1250-1350℃。

　　煅烧使炭质原料的组织结构和物理化学性能发生深刻变化，主要体现在提高了焦炭的密度、机械强度和导电性，提高了焦炭的化学稳定性，为后序工序奠定了基础，煅烧的设备主要有罐式煅烧炉、回转窑和电煅烧炉。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、四川石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯四川石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。