四川石墨异形件

　　石墨异形件是经模压制成不同尺寸的环状产品。适应于热水、高温、高压蒸汽、热交换液、氮气、碳氢化合物、低温液体等介质。

　　石墨异形件具有以下优势：

　　（1）无辐射无污染，柔性石墨不含对人体有害的成份，而石棉制品却具有辐射人体的危害，并且也会污染环境；

　　（2）耐高温，及时化工设备融化，它仍安然无恙；

　　（3）适用范围广，能耐极大多数的化工介质，包括用于放射性化工介质，而石棉制品适应性差，不能用于放射性介质，一些化工塔器、换热器等，要求连接部位不隔热，柔性石墨能做到，石板制品则不能；

　　（4）使用简便快捷，且密封性能好、压缩性、加弹性好、抗氧化行动特点，具有较强的自润型和可塑性，同时具有良好的导电、比重大、密度高等特点。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、四川石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。