四川石墨消解仪

　　产品名称：四川石墨消解仪

　　石墨消解仪的注意事项：

　　1、安全：样品处理需要用到各种不同的酸，如盐酸、硝酸，氢氟酸等，大部分酸具有挥发性并且对人体有害，因此建议在通风的环境下使用仪器，并做好各种防护措施，使用含有HCLO4的消解剂的时候，控制好的HCLO4量和消解温度等条件，安全才有保障，否则有燃烧、爆炸的危险；

　　2、使用：在说明书制定的工作环境下使用，不用的时候要拔掉电源，清洁是模块表面污垢的时候，要用布轻轻擦拭，尽量不使用有机溶剂，不能损坏表面的涂层；

　　3、储存：仪器长期不用的时候，按照说明书制定的储存环境存放。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用四川石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、四川石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯四川石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。