四川石墨套

　　石墨套主要密封件、石墨盘根，柔性石墨密封件，碳纤维盘根，四氟乙烯盘根。

　　石墨套的特点：

　　1、即使经过超高温电弧灼烧，重量的损失很小，热膨胀系数也很小，石墨强度随着温度提高而加强，在2000℃的时候，石墨强度能提高一倍；

　　2、导电、导热性：石墨套的导电性比一般的非金属矿高一百倍，导热性超过钢、铁、铅等金属材料，甚至在极高的温度下，石墨成绝热体；

　　3、润滑性：石墨套的润滑性能取决于石墨鳞片的大小，鳞片越大，摩擦系数越小，润滑性能越好；

　　4、化学稳定性：石墨套在常温下有良好的化学稳定性，能耐酸、耐碱和耐有机溶剂；

　　5、可塑性：石墨套的韧性好，可碾成很薄的薄片；

　　6、抗热震性：石墨套在常温下使用时能经受住温度的剧烈变化而不致破坏，温度突变时，石墨的体积变化不大，不会产生裂纹。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、四川石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。