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四川石墨底盘
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    四川石墨底盘


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      (1)我们能够根据客户所提供的规格、尺寸,使用环境为您选料加工石墨制品;

      (2)由于对石墨要求的质量比较高,一般我们会选用细结构国产高纯石墨,等静压石墨,也可依客户需求用进口石墨材料,确保产品在受热中不受损伤;

      (3)石墨制品能够按照客户特定要求进行定制;

      (4)生产的石墨制品保持强度高、耐高温、电阻率低等特性。

      1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

      2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

      3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

      4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

      5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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    发布时间:2021/11/22 14:50:40
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