四川同心圆齿环

　　四川同心圆齿环的制取非常重要，每一样的产品分量都必须恰到好处，才能生产出好质量的同心圆齿环。

　　（1）选用无烟煤70-90份，选取一种催化剂元素或其化合物5-10份，二氧化硅10-20份；

　　（2）将各组分粉碎、混合均匀，放入压力机、升温升压；

　　（3）将温度******400℃-1000℃。压力10-50KPa；

　　（4）保温10-40分钟，本方法直接用煤炭制造人造石墨从而制造同心圆齿环。工艺简练宜实施，产品比重略轻一些，性能没有任何逊色，切润滑性能较好。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用四川石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的四川石墨坩埚、四川石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯四川石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。